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ALICAT 氣體質量流量控制器 21系列
品牌: ALICAT
量 程0.5 SCCM - 6000 SLPM 響應時間小于30 ms
ALICAT 低壓損氣體質量流量控制器 21W系列
量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM 優于1 %的精度 量程可控比寬,0.5~100 %滿量程
ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~6000 SLPM 精 度 ±(0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程) 量程可控比1%-100%
ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列
響應式氣體流量控制,適用于高壓應用
ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器 21V系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM 量程比 200:1 內置98種氣體,100ms響應時間,優于1%精度
ALICAT 截止閥質量流量控制器 21VS系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM 量程比 100:1 內置128種氣體,100ms快速響應時間,優于1%的精度
ALICAT 氣體質量流量控制器 01系列
量程100 SCCM ,1000 SCCM,20 SLPM,50 SLPM 熱貼片原理,體積小巧精致,適合系統集成 100ms快速響應時間,優于2%精度
ALICAT 氣體質量流量控制器-基本型 11系列
量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM 質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或 ± 0.1% 滿量程(取最大值) 質量流量高精度 ± 0.5% 讀數或 ± 0.1% 滿量程(取最大值)